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图2-39双层膜电热驱动器的末端等效力与悬臂梁厚度t1及长度LA的关系曲线
图片来源：
吴义伯.
电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究 ,
2011
>>查看本文图片摘要
图片关键词：
曲线
厚度图
电热驱动
双层膜
等效力
悬臂梁
热驱动
厚度
微驱动器
长度
所属学科：
电力工业
图片上下文：
图 2-39 双层膜电热驱动器的末端等效力与悬臂梁厚度 t1及长度 LA的关系曲线Fig.2-39 Relations of normalized actuating forces with thickness t1and length LAof bimorph cantilev
....
er when tA=C综上所述，在悬臂梁式双层膜电热微驱动器中，由于双层悬臂梁结构的厚度对热驱动器的弹性弯曲位移和等效力有着较大的影响，因此，分析不同宽度比 n 和杨氏模量比 s 的条件下，悬臂梁厚度对双层膜电热驱动器的弹性弯曲位移的影响是有很大的理论意义，说明了可以通过优化悬臂梁的几何尺寸结构来实现双层膜电热驱动器的最佳驱动性能，为下面电热微驱动器的设计打下了坚实的理论基础。2.3.2 双层膜电热微驱动器的动态特性以上主要分析了双层膜电热微驱动器的静态特性，因为热驱动器的激励源如脉冲电压是随着时间而变化的，因此，了解热驱动器在不同的时间周期内的瞬态位移变化及温度场变化，对于改善热驱动器的驱动性能至关重要。以下我们从热驱动器的电-热-机械耦合的角度，分析双层膜电热微驱动器的动态响应特征。一般来说，双层膜热驱动器的静态特性是比较容易建立的，而对于动态响应特性来说，为了更精确的解析电热驱动器在随时间变化的瞬态热场下的驱动性能，必须建立热驱动器的动态模型，这样就要求解出含有时间变量的偏微分方程，但是，这一过程将是非常困难且极耗计算资源的，故一般采用有限元的方法进行求解[128-134]。对此，我们采用了一种简化的一
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