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电热微驱动器的动态测试原理（a）及图像采集系统（b）、测试平台上样品实物图（c）
图片来源：
吴义伯.
电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究 ,
2011
>>查看本文图片摘要
图片关键词：
实物图
样品图
原理
微驱动器
电热
图像采集系统
动态测试
测试平台
样品
脉冲电流
所属学科：
电力工业
图片上下文：
图 5-4 电热微驱动器的动态测试原理（a）及图像采集系统（b）、测试平台上样品实物图（c）Fig.5-4 Dynamical test setups of the electrothermal microactuator (a), spectrum analyzer (b),
....
and samples undertesting (c)作为在双稳态微继电器中重点应用的热驱动结构，在此我们主要测量了聚合物基三明治式多层膜电热微驱动器的动态性能。由第二章的优化分析可知，这种结构具有良好的形状结构和较好的驱动效果，因此，将重点进行了这一种电热微驱动器结构准动态性能测试。通过图 5-4 中搭建的实验平台提供连续变化的脉冲信号，测量热驱动器在不同脉冲电流下的变形位移。图 5-5 给出了三明治式多层膜电热微驱动器在不同脉冲电流条件下，热驱动悬臂梁末端的动态变化情况。可以看出，图 5-5（a）是未加载脉冲电流时的样品原貌，当在两个探针之间施加一系列脉冲电流时，电热微驱动器在悬臂梁的末端将产生一定的位移变化，图 5-5（b）~（i）分别给出了脉冲电流值从 5mA 逐渐增加 60mA 时的动态变化过程，可以看出，在电流较小时悬臂梁末端的变化较小，当电流增加到 40mA 以上时，悬臂梁将产生较大的驱动位移，直至在 80mA 时，多层膜电热微驱动器被烧坏，见图 5-5（i）所示，悬臂梁末端已经完全被烧黑而失效。为了详细地观察多层膜电热微驱动器在不同驱动电压下的动态响应，我们对此类多层膜电热微驱动器进行测试分析。图 5-6（a）给出了多层膜电热微驱动器在不同驱动电流下的位移响应曲线，该多层膜电热微驱动器结构从上至下依次是 SU-8、Ni 电阻丝、SU-8、Ni 偏置层，它们的厚度分别为 5μm、2μm、5μm、4μm，其测试电阻值为 15.8Ω，它在 60mA 的脉
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