专利检索与分析系统
|
意见反馈
|
制图工具
公告： 1.点击检索输入框上方可切换相似检索，上传图片可查找该图片的相似图片。 2.
专利检索与分析系统上线，欢迎试用。
登 录
注册
欢迎您：
未登录
退出
到登录页
图片搜索
相似搜索
检索
高级检索
图片主题：
请以;隔开多个主题词
出版日期：
到
图片类别：
学科类别：
图片大小：
全部
大
中
小
来源数据库：
全部
中国学术期刊网络出版总库
中国博士学位论文全文数据库
中国优秀硕士学位论文全文数据库
中国重要会议论文全文数据库
中国工具书网络出版总库
中国年鉴全文数据库
学术知识图片库
>
电力工业
> 电热微驱动器的动态测试原理（a）及图像采集系统（b）、测试平台上样品实物图（c）
电热微驱动器的动态测试原理（a）及图像采集系统（b）、测试平台上样品实物图（c）
图片来源：
吴义伯.
电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究 ,
2011
>>查看本文图片摘要
图片关键词：
实物图
样品图
原理
微驱动器
电热
图像采集系统
动态测试
测试平台
样品
脉冲电流
所属学科：
电力工业
图片上下文：
图 5-4 电热微驱动器的动态测试原理（a）及图像采集系统（b）、测试平台上样品实物图（c）Fig.5-4 Dynamical test setups of the electrothermal microactuator (a), spectrum analyzer (b),
....
and samples undertesting (c)作为在双稳态微继电器中重点应用的热驱动结构，在此我们主要测量了聚合物基三明治式多层膜电热微驱动器的动态性能。由第二章的优化分析可知，这种结构具有良好的形状结构和较好的驱动效果，因此，将重点进行了这一种电热微驱动器结构准动态性能测试。通过图 5-4 中搭建的实验平台提供连续变化的脉冲信号，测量热驱动器在不同脉冲电流下的变形位移。图 5-5 给出了三明治式多层膜电热微驱动器在不同脉冲电流条件下，热驱动悬臂梁末端的动态变化情况。可以看出，图 5-5（a）是未加载脉冲电流时的样品原貌，当在两个探针之间施加一系列脉冲电流时，电热微驱动器在悬臂梁的末端将产生一定的位移变化，图 5-5（b）~（i）分别给出了脉冲电流值从 5mA 逐渐增加 60mA 时的动态变化过程，可以看出，在电流较小时悬臂梁末端的变化较小，当电流增加到 40mA 以上时，悬臂梁将产生较大的驱动位移，直至在 80mA 时，多层膜电热微驱动器被烧坏，见图 5-5（i）所示，悬臂梁末端已经完全被烧黑而失效。为了详细地观察多层膜电热微驱动器在不同驱动电压下的动态响应，我们对此类多层膜电热微驱动器进行测试分析。图 5-6（a）给出了多层膜电热微驱动器在不同驱动电流下的位移响应曲线，该多层膜电热微驱动器结构从上至下依次是 SU-8、Ni 电阻丝、SU-8、Ni 偏置层，它们的厚度分别为 5μm、2μm、5μm、4μm，其测试电阻值为 15.8Ω，它在 60mA 的脉
>>展开全部
相关图片
同文图片
语义相关
读者推荐
相似图片
浏览历史
本单位未订购此产品,请填写调查问卷可
免费获取
下载权限.
京 ICP 证 040431 号
网络出版服务许可证 (总)网出证(京)字第 271 号
经营性网站备案信息
京公网安备 11010802020460 号
《中国学术期刊（光盘版）》电子杂志社有限公司
KDN 平台基础技术由 KBASE 11.0 提供. © 1998-2020 中国知网（CNKI）
用户手册
|
产品标准
|
数据标准
|
图片分类说明
