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Ti_Si_N复合膜硬度随Si含量的变化
图片来源:
  • 孔明,胡晓萍,董云杉,李戈扬,顾明元. Ti-Si-N复合膜的界面相研究 , 物理学报, 2005 (08). >>查看本文图片摘要
图片关键词: 微结构Si含量复合膜硬度
所属学科: 物理学工业通用技术及设备
图片上下文:
  • 我们前期对Ti_Si_N复合膜的微结构和力学性能进行的研究[3]发现,随Si含量的增加复合膜中TiN(111)衍射峰逐步减小以至消失,表明复合膜中TiN晶粒随Si含量的增加逐步减小并最终形成了非晶结构.图1示出了Ti_Si_N复合膜硬度随Si含量的变化.TiN单层膜的硬度约为20....
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