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物理学
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> Ti_Si_N复合膜硬度随Si含量的变化
Ti_Si_N复合膜硬度随Si含量的变化
图片来源:
孔明,胡晓萍,董云杉,李戈扬,顾明元.
Ti-Si-N复合膜的界面相研究 ,
物理学报, 2005 (08).
>>查看本文图片摘要
图片关键词:
微结构
Si含量
复合膜
硬度
所属学科:
物理学
工业通用技术及设备
图片上下文:
我们前期对Ti_Si_N复合膜的微结构和力学性能进行的研究[3]发现,随Si含量的增加复合膜中TiN(111)衍射峰逐步减小以至消失,表明复合膜中TiN晶粒随Si含量的增加逐步减小并最终形成了非晶结构.图1示出了Ti_Si_N复合膜硬度随Si含量的变化.TiN单层膜的硬度约为20
....
GPa,加入约4·1at%Si后薄膜的硬度迅速升高到36 GPa,而后随Si含量的进一步增加薄膜的硬度逐步降低.至Si含量高达约23·9at%时,复合膜的硬度已明显低于TiN单层膜的硬度,为13 GPa.
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