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刻蚀型介质制作的后栅FED形貌
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图片关键词: 形貌介质刻蚀刻蚀法印刷法截面图阴极条宽介质层
所属学科: 无线电电子学
图片上下文:
  • 封离后进行烤消,维持显示屏内高真空。2 样品表征及测试后基板制作完成后用扫描电镜观察。图2和图3分别是采用刻蚀法和采用印刷法制作的后栅型FED的正视图和截面图。采用刻蚀法制作的后栅结构边界整齐,阴极电极宽度和介质条宽度基本一致,阴极和介质截面基本呈正梯形。采用印刷法制作的后栅结果....
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