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为Zr-Al-N复合膜的硬度随Al含量的变
图片来源:
  • 靳树强,董松涛,尤建飞,喻利花,许俊华. Zr-Al-N及Zr-Al-Si-N复合膜的微结构及力学性能 , 金属热处理, 2009 (10). >>查看本文图片摘要
图片关键词: 点阵图曲线复合膜Al含量硬度
所属学科: 工业通用技术及设备材料科学
图片上下文:
  • 图5为Zr-Al-N复合膜的硬度随Al含量的变化曲线和Zr-Al-Si-N复合膜的硬度随Si含量的变化曲线。由图5(a)可以看出,在Zr-Al-N复合膜中,随着Al含量的增加,薄膜的硬度首先增加, 13·97a%t时达到最大,为27·16 GPa。薄膜的硬度增加是由于Zr-Al-....
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