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不同硅锆原子比的Zr-Si-N复合膜XRD谱
图片来源：
  • 梅永晖,董松涛,熊宁,喻利花,许俊华. Al元素对Zr-Si-N复合膜的微结构与力学性能的影响 , 金属热处理, 2009 (11). >>查看本文图片摘要
图片关键词： XRD谱硅锆复合膜原子比
所属学科： 工业通用技术及设备材料科学
图片上下文：
  • 5 Zr0·75Al0·19Si0·06N 200 19·06 5·50 75·442·2　A l元素对Zr-Si-N复合膜微结构的影响图1和图2分别为不同硅锆原子比的Zr-Si-N复合膜XRD谱和不同铝含量的Zr-Al-Si-N复合膜的XRD谱。从图中可以看出,未加入硅的ZrN....
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