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Zr-Si-N复合膜的显微硬度与硅锆原子比的
图片来源:
  • 梅永晖,董松涛,熊宁,喻利花,许俊华. Al元素对Zr-Si-N复合膜的微结构与力学性能的影响 , 金属热处理, 2009 (11). >>查看本文图片摘要
图片关键词: 关系图的影响硅锆复合膜原子比显微硬度硬度
所属学科: 工业通用技术及设备材料科学
图片上下文:
  • 所以薄膜的(111)晶面衍射峰向高角度偏移。2·3 A l元素对Zr-Si-N复合膜力学性能的影响图3为Zr-Si-N复合膜的硬度与硅锆原子比的关系图。图4为Zr-Al-Si-N复合膜的显微硬度随铝含量变化的关系图。从图3可以看出,未加入硅的ZrN薄膜的硬度为26·8 GPa。当....
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