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> TaVN复合膜在800℃时形成的磨痕的表面形貌以及XRD图谱
TaVN复合膜在800℃时形成的磨痕的表面形貌以及XRD图谱
图片来源:
许俊华,薛雅平,曹峻,喻利花.
V含量对TaVN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响 ,
无机材料学报, 2013 (07).
>>查看本文图片摘要
图片关键词:
XRD图谱
复合膜
磨痕
XRD图谱
表面形貌
所属学科:
材料科学
工业通用技术及设备
图片上下文:
这两种氧化物构成的体系的润滑性也增加,摩擦系数降低。由此得出,TaVN复合膜具有比TaN单层膜更优异的减摩性能。对比TaVN复合膜在600℃和800℃时的摩擦性能,在800℃下具有更低摩擦系数的原因为:一是生成了更多的氧化物,润滑性能更优;二是在800℃时V2O5熔化为液态(熔点
....
为685℃),在两摩擦副之间充当了液体润滑剂的作用,因而可以进一步降低摩擦系数。3结论1)TaVN复合膜中的V含量随着V靶功率的增大而增加,微结构呈面心立方结构;随着V含量的增加,各衍射峰整体向大角度方向偏移,择优取向由(200)转变为(111)。图8TaVN复合膜在800℃时形成的磨痕的表面形貌以及XRD图谱Fig.8SEMimage(a)andXRDpattern(b)ofweartrackofTaVNcompositefilmat800℃
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