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文献标题: 模板匹配算法在半导体设备中的应用
文献来源: 孙永超;柴亮;尚美杰;崔杰;  电子工业专用设备  2013年  01期
文献关键词: 半导体设备机器视觉模板匹配
文献摘要: 阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中。通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点。
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