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文献标题: 暗场电子全息技术及其在应变分析中的应用
文献来源: 王志峰;段晓峰;  电子显微学报  2012年  06期
文献关键词: 透射电子显微镜暗场电子全息应变
文献摘要: 暗场电子全息是近年来出现的实验技术,是测量半导体器件中应变分布的有力手段。它将莫尔技术与离轴电子全息结合起来,具有空间分辨率高、视场范围大、精确度高、结果直观等优点。本文简要介绍了该技术的原理、实验方法和应用。
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