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文献标题: 视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制
文献来源: 邢玉梅;惠春;李刚;赵建龙;  纳米技术与精密工程  2010年  01期
文献关键词: 视觉修复视网膜假体神经刺激柔性微电极微细加工
文献摘要: 采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280μm,引线间距为80μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电极和引线表面均平整光滑,轮廓清晰,结构完好.阻抗测试结果表明:随着频率的增加,凸起微电极的阻抗呈下降趋势,显示出明显的高通特性;1 kHz时凸起微电极的阻抗约为10 kΩ,较具有相同基底面积的平面电极约低30%,有助于提高电极的信噪比,可望用于视网膜前假体中.柔性凸起微电极制作工艺简单,利于高效率批量制作并提高微电极的集成度.
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