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文献标题: 自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善
文献来源: 伍和云;吴永刚;吕刚;凌磊婕;夏子奂;刘仁臣;唐平林;  强激光与粒子束  2011年  04期
文献关键词: 自支撑薄膜聚酰亚胺聚酰胺酸二步法亚胺化质量吸收系数
文献摘要: 采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。
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