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文献标题: AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响
文献来源: 王子仪;张荣君;郑玉祥;张振生;李海涛;  实验室研究与探索  2013年  02期
文献关键词: 原子力显微镜扫描参数表面粗糙度
文献摘要: 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标准,改变AFM各项扫描参数,研究了AFM中不同参数的调整对于样品扫描图像的影响。结果表明,振幅阈值、扫描速率、积分增益三项参数对于测量样品表面粗糙度均有较大影响,通过适当改变扫描参数,可以有效提升AFM的样品扫描质量。
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