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文献标题: 基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析
文献来源: 孔伟金;云茂金;孙欣;刘均海;范正修;邵建达;  物理学报  2008年  08期
文献关键词: 衍射效率多层介质膜光栅严格耦合波理论
文献摘要: 基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅获得衍射效率优于96%的结构参数.数值计算表明,顶层材料为HfO2的介质膜光栅具有更宽的结构选择范围.最后分析了介质膜光栅的制备容差和允许的入射角度范围.
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