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文献标题: 基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极
文献来源: 朱丹;李德杰;赵勇;胡强;王健;  真空科学与技术学报  2012年  05期
文献关键词: 平面显示电子发射C-W复合膜磁控溅射无定形碳纳米岛Bi纳米岛
文献摘要: 介绍了基于C-W复合膜/无定形碳纳米岛的表面传导电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。利用低熔点纳米Bi岛作为掩模刻蚀得到无定形碳的纳米岛结构,在保留大岛形貌的同时,去除了一定量的小岛结构;同时在无定形碳中掺入少量的W原子,制作导电性极佳的C-W复合膜作为上层发射层,利于激活形成电子发射区域。通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率在阴阳极间距2mm、阳极电压为3 kV时达到0.9%,向器件实用化方向迈出了重要的一步。
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