图片标题: MEMS化学微推进阵列单元结构
图片来源: 尤政,张高飞,任大海. MEMS微推进技术的研究, 纳米技术与精密工程, 2004 (02).
图片关键词: 化学图阵列单元化学阵列固体化学
图片类别:
所属学科: 无线电电子学
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