图片标题: 图6650℃时不同Si含量的NbSiN复合膜的磨痕SEM图像(a)12.24%;(b)20.29%;(c)24.31%Fig.6SEMgraphicsofdifferentSicontentsofNbSiNcoatingsat650℃(a)12.24%;(b)20.29%;(c)24.31%
图片来源: 喻利花,苑彩云,许俊华. 磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能, 材料工程, 2013 (07).
图片关键词: 复合膜磨痕图像摩擦因数氧化物膜
图片类别:
所属学科: 物理学工业通用技术及设备
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