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图2-39双层膜电热驱动器的末端等效力与悬臂梁厚度t1及长度LA的关系曲线
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图片关键词: 曲线厚度图电热驱动双层膜等效力悬臂梁热驱动厚度微驱动器长度
所属学科: 电力工业
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  • 图 2-39 双层膜电热驱动器的末端等效力与悬臂梁厚度 t1及长度 LA的关系曲线Fig.2-39 Relations of normalized actuating forces with thickness t1and length LAof bimorph cantilev....
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