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不同 Ti 靶功率下 Ti--B--N 薄膜 XRD 图谱. ( a) Si 基体; ( b) 钢基体
图片来源:
  • 罗庆洪;娄艳芝;李春志;陆永浩;Ti—B—N纳米复合薄膜的制备及结构和力学性能,北京科技大学学报,201108. >>查看本文图片摘要
图片关键词: 图谱功率图功率钢基体薄膜基体衍射峰结晶率纳米硬度
所属学科: 材料科学工业通用技术及设备
图片上下文:
  • 纳米硬度和弹性模量均未出现明确的拐点,因此对 Ti靶功率进行调整. 图5 给出了不同 Ti 靶功率下 Ti--B--N 薄膜的 XRD 图谱. 从图 5( a) 可以看出: 随着 Ti 靶功率的减小,Si 基体的Ti--B--N 薄膜TiN( 111) 和( 200) 衍射峰的强....
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