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不同Si含量TiN/Si3N4复合膜的结合力
图片来源:
  • 杨友志;郑晓华;磁控溅射TiN/Si_3N_4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性,材料科学与工程学报,200803. >>查看本文图片摘要
图片关键词: 照片Si含量复合膜结合力
所属学科: 工业通用技术及设备材料科学
图片上下文:
  • 镶嵌于非晶态Si3N4基体中构成。3.2 薄膜的摩擦学特性图5所示为不同Si含量TiN/Si3N4复合薄膜的划痕试验结果。Si含量12.9at.%的薄膜临界载荷出现最低值,图4 TiN/Si3N4复合膜的高分辨透射电镜照片(a) 5.9 at.%;(b) 12.9 at.%Fig....
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