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Ta2O5介质氧化膜形成及(b)ESA膜修饰Ta2O5表面后获得的电容结构示意图
图片来源:
  • 杨亚杰;徐建华;蒋亚东;闻俊峰;自组装超薄膜修饰Ta_2O_5介质膜及其特性研究,化学学报,201208. >>查看本文图片摘要
图片关键词: 结构示意图表面图膜修饰介质电容表面钽块静电自组装氧化膜钽片
所属学科: 材料科学工业通用技术及设备
图片上下文:
  • AlKα射线源);SEM4200型扫描电子显微镜(日本JEOL公司);Keithley4200半导体测试仪;静电自组装超薄膜的制备在Dip-coater成膜系统(KSV,芬兰)中进行.1.2Ta2O5介质氧化膜的制备取金属Ta片(厚200μm)或压制成型的钽块(3.1cm×2.2....
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