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不同V含量TaVN复合膜的XRD图谱
图片来源:
  • 许俊华;薛雅平;曹峻;喻利花;V含量对TaVN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响,无机材料学报,201307. >>查看本文图片摘要
图片关键词: XRD图谱复合膜XRD图谱原子
所属学科: 材料科学工业通用技术及设备
图片上下文:
  • 第7期许俊华,等:V含量对TaVN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响7711可以看出,随着V靶功率的升高,TaVN复合膜中V含量逐渐增加,而Ta含量相应地降低。随着V靶功率从0增加到100W,V元素的原子百分比分别为0、18.25at%、32.8at%、46.7at%。图2为....
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