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顶层为HfO2的介质膜光栅-1级衍射效率与占空比的关系
图片来源:
  • 孔伟金;云茂金;孙欣;刘均海;范正修;邵建达;基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析,物理学报,200808. >>查看本文图片摘要
图片关键词: 周期图变化关系的影响工艺图变化规律介质膜衍射效率光栅占空比
所属学科: 物理学无线电电子学
图片上下文:
  • 分析对介质膜光栅的制备和使用具有指导意义.4.1.光栅占空比对衍射效率的影响图6给出了介质膜光栅-1级衍射效率随占空比的变化关系.从图6可以看出,介质膜光栅-1级衍射效率随占空比的增加而先增加后减小,在占空比为0·3—0·42区域内变化相对缓和且达到最大值.该变化规律说明表1中优....
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