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Al2O3/TiO2复合膜的漏电流密度2场强关系
图片来源:
  • 黄浩;肖田;张羿;林明通;电子束蒸发Al_2O_3/TiO_2复合膜及在无机EL中的应用,液晶与显示,200605. >>查看本文图片摘要
图片关键词: 单元结构曲线样品图界面图漏电流密度复合膜场强
所属学科: 无线电电子学
图片上下文:
  • 薄膜中不存在电子易隧穿的Al2O3/TiO2界面。复合膜的击穿场强介于单层Al2O3、TiO2之间。图1示出上述6个样品的J2E曲线。对于多层膜,No1的漏电流密度较低,其原因是数目较多的Al2O3层的阻断作用。但是当基片旋转形成无定形的AlxTiyOz复合膜时漏电流密度明显增加....
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