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不同Pulsed-DCPCVD工艺方法制备TiN涂层样品在400℃下经冲蚀后的表面形貌
图片来源：
李梦,李世林,田鹤.
IN718合金表面脉冲直流PCVD法制备TiN涂层的高温耐冲蚀性能 ,
稀有金属材料与工程, 2012 (S2).
>>查看本文图片摘要
图片关键词：
表面形貌
TiN涂层
工艺方法
表面形貌
样品
涂层
所属学科：
金属学及金属工艺
图片上下文：
pulsed-DCPCVDprocesses:(a)depositedwithDCfor240min;(b)depositedwithDC30min/pulse30minandthetotaldeposittimeis240min;(c)depositedwithpulsefor
....
240min图3不同Pulsed-DCPCVD工艺方法制备涂层样品的XRD图谱Fig.3XRDpatternsofthedepositedsamplespreparedbythepulsed-DCPCVDprocesses:(a)depositedwithDCfor240min;(b)depositedwithDC30min/Pulse30minandthetotaldeposittimeis240min;(c)depositedwithpulsefor240min以采用脉冲沉积工艺可以得到晶粒较为细小的TiN涂层[8]。2.2涂层样品的高温耐冲蚀性能图4是不同Pulsed-DCPCVD工艺方法制备TiN涂层样品在400℃下经冲蚀后的表面形貌。比较图中的照片可以看出，随着冲蚀时间的延长，涂层逐渐从基底表面脱落，表现为样品表面由灰度较低的白亮涂层逐渐转变为灰度较高的暗色基底。从图4中还可以看出，在实验涉及的工艺参数条件下，不同工艺方法所制备的涂层在400℃下耐α-Al2O3硬颗粒冲蚀方面具有较大的性能差异，直流/脉冲交替的沉积工艺方法制备的涂层经过冲蚀作用之后，涂层脱落的情况显得更为均匀。根据实验结果，可以获得无涂层及不同涂层样品在400℃下冲蚀的失重曲线，如图5所示。由图5可知，表面经沉积形成TiN涂层后，IN718合金在400℃图4不同Pulsed-DCPCVD工艺方法制备TiN涂层样品在400℃下经冲蚀后的表面形貌Fig.4ImagesofthesampleswithTiNcoatingspreparedbypulsed-DCPCVDprocessesduringtheerosionat400℃:(a)depositedwithDCfor240min;(b)depositedwithDC30min/pulse30minandthetotaldeposittimeis240min;(c)depositedwithpulsefor240min图5IN718合金及其涂层样品在400℃下冲蚀的失重曲线Fig.5MasslosscurvesofthebareandthecoatedIN718sample
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