图片标题: 图2-39双层膜电热驱动器的末端等效力与悬臂梁厚度t1及长度LA的关系曲线
图片来源: 吴义伯. 电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究, 2011
图片关键词: 曲线厚度图电热驱动双层膜等效力悬臂梁热驱动厚度微驱动器长度
图片类别:
所属学科: 电力工业
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